Outline Kuliah
a. Synchroton Radiation
b. XRD (dengan X-Ray Difraktometer)
c. ELektron Microscopy (SEM, TEM)
d. Probe Microscopy (AFM, MFM, STM)
e. In situCharacterization and Fabrication (Sputtering) , FIB (focus Ion Beam), Ion Etching
SEM (Scanning Electron Microscopy)
Cara kerja alat ini meliputi permukaan sample dan morfologi , ukuran partikel, SEM memberikan informasi kualitatif diantaranya:
Ø Topography (profil permukaan dan texturenya )
Ø Morphology (Bentuk, ukuran dan susunan partikel pada permukaan)
TEM (Transmission Electron Microscopy)
Alat ini mampu melihat hingga kedalam sampel (dengan syarat samplenya haruslah sangat tipis), TEM memberi Informasi kualitatif berupa:
Ø Morphology or Structural (ukuran, bentuk, dan susunan partikel penyusun sample)
Ø Crystallographic information (susunan atom dari sample, sudut dan derajat)
AFM-MFM
Satu kesatuan , sistemnya juga sama, perbedaan keduanya hanya pada Probe nya. AFM (atomic Force Microscopy) informasi yang didapat melalui AFM – MFM adalah gaya dan elastisitas sample, hardness atau softnes sample, kristalinitas sample
STM (Scanning Tunneling Microscopy)
Merupakan mekroskop nanopartikel yang mengkaji efek tunneling mekanika kuantum untuk mengetahui jarak antara probe dengan permukaan. Sampel yang diukur harus konduktif, karena merupakan alat elektronikal. Informasi yang diberikan. Profil permukaan secara 3D sehingga berguna untuk mengkaji roughness permukaan, defect permukaan, ukuran, dan sebagainya.
In-Situ Fabricating and Characterization
Merupakan proses yang dimulai dari fabrikasi sample hingga karakterisasi sample (seperti 1 s.d. 4)dilakukan ditempat yang sama , semua dilakukan disatu ruang vakum, sehingga perlu digunakan pakaian khusus . ruangan yang steril (clean room), system seperti ini sangat baik digunakan terutama dalam nanoteknologi.
0 komentar:
Post a Comment